ÚFI/Informace/Stránky zaměstnanců/Michal Urbánek/Diplomka Kaufman     

Modernizace aparatury IBAD

Aparaturu IBAD, nacházející se v nově zrekonstruovaných čistých laboratořích, využíváme k depozicím tenkých vrstev a multivrstev. V současné době je nutné vytvářet multivrstvy s přesností tloušťky v desetinách nanometrů. Této přesnosti (a zejména opakovatelnosti výsledků) je velmi obtížné dosáhnout při manuálním ovládání. Z tohoto důvodu je nutné provést modernizaci aparatury tak, aby byla možná co nejúplnější automatizace depozičního procesu.

Aparatura IBAD (Kaufman)

V rámci této diplomové, případně bakalářské práce, by student řešil následující problémy:

Automatizace mechanických operací, tj. ovládání otáčení terčů a clony substrátu. K dispozici je vývojová sada pro ovládání krokových motorků od firmy Microcon, je nutné navrhnout a realizovat úpravu stávajících ručních manipulátorů tak, aby je bylo možné řídit pomocí krokových motorků. Dále je nutné zvládnout programové řízení kontroléru krokových motorků, nejlépe v prostředí LabView.

Ruční ovládání je potřeba motorizovat

Automatizace ovládání napájení iontových zdrojů, řízení výboje a extrakce. Všechny napájecí zdroje aparatury je možné dálkově řídit pomocí počítače. Je nutné zajistit jejich propojení s PC a naprogramovat řízení depozičního procesu, opět nejlépe v LabView.

Tuto sestavu napájecích zdrojů bude třeba ovládnout přes LabView

Návrh zakládací komory. V rámci předchozí diplomové práce byl rozpracován ideový návrh zakládací komory, která umožní depozice složitějších vrstevnatých struktur a urychlí celý depoziční proces. Je nutné tento návrh dopracovat a zajistit výrobu a montáž této komory. Výroba vakuových součástí komory bude probíhat ve firmě Vakuum Praha a ostatní součásti budou vyrobeny v dílnách ÚFI.

Návrh zakládací komory. Je třeba jej dopracovat a realizovat.

zpět